光刻设备,作为一种投影曝光系统,是半导体制作工艺中的核心设备。它利用紫外光源、光学镜片以及对准系统等部件,将图案精确地投射到硅晶圆上,从而完成集成电路的制造。光刻设备的性能直接决定了半导体线路的精度、芯片功耗与性能,是半导体产业中不可或缺的一环。
细分类型介绍
据光源类型和应用场景划分 |
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据芯片制造工艺划分 |
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